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紫外納米壓印光刻機

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  • 光電所自主研制成功紫外納米壓印光刻機(2016-04-06)

    近日,中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子專用設(shè)備研發(fā)團隊在微納制作設(shè)備領(lǐng)域再次發(fā)力,自主研制成功紫外納米壓印光刻機,其成本僅為國外同類設(shè)備的三分之一,推進(jìn)我國微納實用制造水平邁上新的臺階。…[詳情]

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