無塵車間的相對濕度是指在相同溫度下，空氣中水汽含量與飽和水汽含量之間的比例。即壓力為P，溫度為T的濕空氣的相對濕度是指給定的濕空氣中，水汽的摩爾分數懷同一溫度T和壓力P下純水表面的飽和水汽的摩爾分數之比，用百分數表示。 相對濕度是兩個壓強值之比: %RH = 100 x p/ps 在這里p 是周圍環境中水蒸汽的實際部分壓強值；ps是周圍環境中水的飽合壓強值. 相對濕度傳感器通常是在標準室溫情況下校準的（高于0度），相應的，通常認為這種傳感器可以指示在所有溫度條件下的相對濕度(包括在低于0度的情況). 冰會產生的蒸汽壓強低于液態水。因此，當液態水水以冰的形式出現時，冷凝會相對濕度低于100％的情況下產生。

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