作為一種微觀形態(tài)學工具，光學顯微鏡在工業(yè)測試方面的應用，目前主要大家比較熟悉的主要是以下方面：首先，單獨作為形態(tài)學工具，進行材料組織分析和外觀缺陷檢查，其典型的產品是金相顯微鏡和立體顯微鏡。第二、光柵量測結合，進行部件的精密尺寸測量，其典型的產品是工具顯微鏡，測量顯微鏡。近年來，隨著計算機軟件技術的發(fā)展，顯微鏡與圖象處理系統(tǒng)的結合，產生了定量金相軟件、工顯測量軟件、一般幾何測量軟件等等，使其不僅可以定性分析，更能在定量化上發(fā)揮重大作用。但光學顯微鏡的局限在于，它是一種二維的形態(tài)學工具，其極限有效分辨率是0.35微米，該分辨率下的景深在1微米以下。因此如果要在高倍率下觀察表面的三維形態(tài)，特別是縱向方向的形態(tài)，通常一定需要使用SEM而不是OM。SEM是這一方面非常成熟有效的標準工具，但有些樣品使用SEM會碰到以下困難：
樣品本身比較大，且不能做分割的器件組，雖然被觀察的部分是微小的局部，但整個樣品難以放入SEM中。
非金屬樣品，且不適合做導電性處理。特別是一些對微小處理很敏感的樣品。
無法測量多種尺寸數(shù)據(jù)，比如體積，面積，粗糙度等等。
針對這些問題，SEM廠家在不斷推出更新的技術。同時，光學顯微鏡開發(fā)者也在探索如何使光學顯微鏡成為一種三維的微觀形態(tài)學工具。這方面目前比較有成效的技術，是激光掃描共焦顯微鏡（CF-LSM）。
共聚焦激光掃描顯微鏡的發(fā)展在國外，主要為日本。是從80年代末期開始的，目前在日本，共聚焦激光掃描顯微鏡已經是一種被廣泛采用的技術，既用來觀察樣品表面亞微米程度（0.12微米）的三維形態(tài)和形貌，又可以測量多種微小的尺寸，諸如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等等。
另外，它還有以下特點：
使用方便,與一般光學相似,且全部采用計算機直觀控制。
基本無須制樣,不損傷樣品。不需要做導電處理,也容許大尺寸樣品直接觀察,完全不破壞樣品。
幾十秒到一兩分鐘即完成全部的掃描，成像，測量采樣工作。