安捷倫：為超高真空、極高真空系統的設計提供了新的選擇

作者： 2019年07月26日來源：全球化工設備網瀏覽量：

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近日，安捷倫公司發布CombiNEG吸氣劑復合型離子泵。該泵可以以最高速度和最大容量處理甲烷、氬氣和氦氣等惰性氣體，大大增強了超高真空時離子泵的抽氣能力，為超高真空、極高真空系統的設計提供了新的選擇。

CombiNEG系列采用安捷倫科技的StarCell離子泵抽氣單元和賽斯的燒結型非蒸散型吸氣劑。該系列最大可復合2000L/s的吸氣劑泵，其開啟工作時可將前級泵隔離封閉抽氣，可靠性高，所需電流極小，對環境磁場的影響也很小，并且無油無振動，適合粒子加速器、表面科學儀器和設備等需要超高真空、極高真空的系統。

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標簽：安捷倫 CombiNEG 吸氣劑復合型離子泵

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