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蘇氧股份PPB級超高純制氮機順利投產應用

作者: 2021年07月15日 來源:蘇州制氧機股份有限公司 瀏覽量:
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蘇州制氧機股份有限公司又一套超高純制氮機供應項目日前在湖南長沙順利通過各項性能測試,運行參數均優于設計值,產品氮氣純度<1ppbO2。標志著蘇州制氧機股份為半導體芯片領域高純氮氣設備的應用再創佳績

蘇州制氧機股份有限公司(股票代碼:836692)受廣鋼能源股份委托參與研發、設計,進行設備制造、安裝、調試的又一套超高純制氮機供應項目日前在湖南長沙順利通過各項性能測試,運行參數均優于設計值,產品氮氣純度<1ppbO2。

該項目突破當前超高純氮制氮機制造受制于外資品牌的發展困境,對卡脖子技術實現了攻關突破,打響中國制造品牌。同時也標志著蘇州制氧機股份有限公司為半導體芯片領域高純氮氣設備的應用再創佳績,為蘇氧股份暨廣東粵芯半導體、上海積塔半導體、日月光半導體、華為松山湖總部等項目之后的又一力作。

今年年初,工信部等多個部委召開工業氣體“卡脖子”問題協調工作會議,協調推進解決制約行業發展的“卡脖子”技術, 電子大宗氣體中的超高純氮氣是半導體、微電子行業不可缺少的基礎性原材料高端電子行業中的氮氣純度至少須保持在99.99999%以上。超高純氮氣可用于超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程,影響著集成電路、液晶面板、LED、光伏等高端領域產品的電子元器件的性能優劣。

蘇氧公司以匠人精神,精益求精,克服疫情帶來的不利影響,高質量如期完成項目交付。在項目執行中我公司充分發揮流程計算及設備制造優勢,按照高標準、嚴要求實施精細化管理,按項目配置要求進行現場集成,現場人員克服了疫情、現場氣候條件等不利影響,保質保量完場了現場安裝和調試工作,獲得了用戶的高度認可。

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