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模塊化設計

真空腔室的模塊化設計和加工(2013-11-26)

該設備屬生產設備，主要功能包括：鈦/鋯磁控濺射鍍裝飾膜，反應膜、復合膜。其它功能還包括：行星旋轉基片臺、負偏壓輔助沉積、PLC+HMI真空自動/手動控制、水冷循環及斷水保護系統，預留多個標準接口。…[詳情]

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